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詳細(xì)介紹
CTRM700 是韓國(guó)?????所研發(fā)并由韓國(guó)Nanoscope Systems 進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)營(yíng)的熱反射式激光共聚焦顯微鏡。
CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡利用的是激光共聚焦掃描的方法測(cè)量樣品表面或內(nèi)部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來(lái)獲取樣品的熱分別圖像。
Principles & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：
熱反射顯微鏡（Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測(cè)量樣品表面光反射率變化而測(cè)量樣品溫度變化的一種技術(shù)。
共聚焦熱反射顯微技術(shù)是一種激光掃描共聚焦方法，它可以在局部區(qū)域獲得比傳統(tǒng)熱成像技術(shù)（紅外成像技術(shù)）更高分辨率的熱成像圖像。
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
半導(dǎo)體器件熱特性的測(cè)量與分析：
-柔性顯示面板缺陷檢查
-OLED內(nèi)部缺陷檢查
-高輸出功率裝置發(fā)熱特性的測(cè)量與分析
-傳感器單元的紅外圖像分析
-氧化物薄膜晶體管的熱特性
-3D堆疊半導(dǎo)體熱特性的測(cè)量分析
-OLED 器件的熱特性分析
-氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測(cè)量和分析
-InGaZnO薄膜晶體管的發(fā)熱特性及可靠性分析
Specification（規(guī)格）
| Model | Microscope CTRM 700 | ||||
| 物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | |
| 觀察/ 測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 |
| 垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
| 工作范圍: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | |
| 數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | |
| 光學(xué)變焦 | x1 to x6 | ||||
| 觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng) | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | ||||
| 測(cè)量高度 | 7 mm | ||||
| 分辨率 | 橫向分辨率 | 0.3 μm | |||
| 軸向分辨率 | 0.8 μm | ||||
| 熱分辨率 | 1℃ | ||||
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Image size | 共聚焦模式 | 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||
| 熱成像模式 | 1024x768 | ||||
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幀速率 | 共聚焦模式 | 10 Hz to 160 Hz | |||
| 熱成像模式 | 0.3 Hz | ||||
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激光共焦測(cè)量光源 | 波長(zhǎng) | 638 nm | |||
| 輸出 | ~2mW | ||||
| 激光等級(jí) | Class 3b | ||||
| 光學(xué)顯微鏡光源 | LED | 10W | |||
| 光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 | |||
| 記錄分辨率 | 640x480 | ||||
| 數(shù)據(jù)處理單元 | PC | ||||
| 電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
| 電流消耗 | 500 VA max. | ||||
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重量 | 顯微鏡 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~14 kg) | |||
| 控制器 | ~8 kg | ||||
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