光學(xué)膜厚測量儀主要利用光干涉原理對各類薄膜厚度進行非接觸式檢測，樣品制備規(guī)范與否、測試流程是否標(biāo)準(zhǔn)，直接決定測量結(jié)果的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。
一、樣品制備要求
樣品表面處理
樣品表面應(yīng)保持清潔、干燥、無油污、無指紋、無灰塵，避免雜質(zhì)影響光反射與干涉信號。
可用無塵布蘸取無水乙醇輕輕擦拭，自然晾干后再進行測試。
表面平整度要求
被測區(qū)域應(yīng)平整光滑，無明顯劃痕、凸起、針孔或脫落，局部凹凸過大會導(dǎo)致光路偏移，造成讀數(shù)偏差。
基底與邊緣要求
盡量選擇無翹曲、無變形的樣品，測試點避開邊緣崩邊、裂紋及破損區(qū)域，防止光線散射干擾。
透明與多層膜注意事項
透明基底需保證無明顯霧度與雜質(zhì)；多層膜結(jié)構(gòu)應(yīng)確保膜層界面清晰，無脫層、混層現(xiàn)象。
二、測試前準(zhǔn)備
儀器開機預(yù)熱
開啟設(shè)備電源，讓光源、光譜模塊與控制系統(tǒng)預(yù)熱，確保光學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定。
參數(shù)設(shè)置
根據(jù)薄膜類型、材料折射率、基底類型，在軟件中選擇對應(yīng)膜系模型，設(shè)置測試波長范圍、精度模式。
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)
使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片進行光路校準(zhǔn)與零點校正，消除系統(tǒng)誤差，保證后續(xù)測量精度。
三、正式測試流程
樣品放置
將樣品平穩(wěn)放置在載物臺上，被測膜面朝上，調(diào)整夾具固定，避免晃動。
測點定位
通過目鏡或成像系統(tǒng)觀察，將測試光斑對準(zhǔn)目標(biāo)測量區(qū)域，確保光斑完全落在膜層范圍內(nèi)。
執(zhí)行測量
點擊測量按鈕，儀器自動發(fā)射檢測光，采集反射光譜并進行擬合計算，實時顯示膜厚數(shù)值。
多點測量
同一樣品至少選取 3～5 個不同位置進行測量，取平均值作為最終結(jié)果，提高數(shù)據(jù)代表性。
四、測試后處理
數(shù)據(jù)保存與導(dǎo)出
保存測量曲線、厚度數(shù)據(jù)、測試參數(shù)，生成檢測報告。
樣品與儀器歸位
取下樣品，清潔載物臺與光學(xué)鏡頭，關(guān)閉光源與主機電源。
環(huán)境整理
保持儀器周圍無塵、無震動、無強光直射，蓋上防塵罩備用。
五、注意事項
禁止用手直接觸碰光學(xué)鏡頭與被測膜面。
避免在溫度、濕度劇烈變化的環(huán)境下測試。
膜層過薄、過厚或折射率不匹配時，需及時調(diào)整測量模式。
8
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務(wù)