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詳細介紹
二手JSM-7610Fplus場發射電鏡采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統，提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。此外，還具備利用GENTLE BEAM TM模式進行低加速電壓觀察、通過R-Filter分選信號等功能，滿足各種需求的高擴展性。
技術參數： 1．分辨率：0.8nm（15kV）／1.0 nm（1kV） 2．加速電壓：0.1 kV—30 kV 3．放大倍數：25—100萬倍 4．樣品室尺寸：最大200mm直徑樣品
一、功能特色
配備半浸沒式物鏡，能將電子束收縮的很細，實現低加速電壓下的高分辨成像；采用GENTLEBEAM™模式，通過給樣品加以偏壓使得電子束在到達樣品前減速的功能來實現低加速電壓下的有效觀察和分析；可通過r-filter選擇樣品上產生的二次電子和背散射電子信號進行檢測。
二、技術參數
1. 電子槍類型：熱場發射槍
2. 加速電壓：0.1 – 30 kV
3. 二次電子像分辨率：0.8 nm（15kV）、1.0 nm（1kV）
4. 放大倍率： 25–1M倍
5. 能譜：Oxford X-Max50 電制冷能譜儀
三、應用領域
通過掃描電子顯微鏡材料，可以進行材料表面形貌的觀察；材料的斷口形貌的觀察，了解材料的破壞特征、材料內部的結構及缺陷；通過X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件，可掌握材料微區化學成分分析。
二手JSM-7610Fplus場發射電鏡技術參數
二次電子像分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） | |||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） | |||
加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | |||
探針電流 | 數 pA ～ 200 nA | |||
電子槍 | 浸沒式肖特基場發射電子槍 | |||
透鏡系統 | 聚光鏡（CL）、 最佳光闌角控制鏡（ACL）、 半浸沒式物鏡（OL） | |||
樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 | |||
電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內置、 低位檢測器 | |||
自動功能 | 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調節 | |||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | |||
抽真空系統 | 電子槍室／中間室 SIP 離子泵 | |||
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