日常清潔守住設備壽命底線。每日用無塵布擦拭設備外殼及控制面板，防止灰塵侵入電氣接口。每次實驗結束后務必關閉氣路、維持腔體真空密封狀態，避免內部氧化污染。每周清理濺射室內部，用專用溶劑清除靶材濺射殘留；真空室內壁可用蘸丙酮的無塵布輕擦，嚴禁觸碰玻璃真空觀察窗。每次開腔前，須用棉簽仔細擦拭密封圈及玻璃罩上下邊緣，消除頻繁拆裝積累的密封污染物。
靶材清潔嚴格執行四步法：丙酮初擦、酒精精洗、去離子水沖洗、烘箱烘干。金屬靶材可承受較高功率密度，陶瓷靶材須嚴格限功。新靶材上機前必須純氬預濺射數分鐘，緩慢升功率清除表面氧化層，這是防止打弧失控的核心操作。
定期保養以真空系統為絕對核心。真空泵油每十二個月更換一次，油色發黑或渾濁時立即更換，同步清理進氣濾網與連接管道。定期檢漏：關閉全部閥門后觀察真空計讀數是否穩定。腔體內壁涂層累積后用草酸溶液清洗，頑固沉積可用細砂紙輕磨，絕不可損傷玻璃罩密封面。PEEK絕緣板邊緣易鍍金屬引發短路，須定期打磨或直接更換。
冷卻與電氣系統同步維護。冷卻水出水溫度須低于三十五度，金屬靶材與陶瓷靶材流量各有要求，不可混用。每月清理散熱器積塵，按時更換冷卻液。檢查電源線與控制板連接器有無氧化，測試高壓電源輸出穩定性，及時更換老化電容。
定期烘烤腔體可有效去除殘余氣體與水分，配合控制系統數據備份，方能讓設備始終處于最佳工作狀態。
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