氣體質(zhì)量流量單位—sccm與SLM

解答：體積流量 × 標(biāo)準(zhǔn)密度 = 質(zhì)量流量

（在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，它們可以間接反映質(zhì)量流量。）

舉例：

氮?dú)庠跇?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為約 1.25 g/L：

1 SLM = 1 L/min =1.25 g/min

100 sccm = 0.1 L/min = 0.125 g/min

愛(ài)拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司及無(wú)錫愛(ài)拓利電子科技有限公司組成。總部蘇州愛(ài)拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無(wú)錫愛(ài)拓利成立于2017年，位于無(wú)錫新吳區(qū)清源路20號(hào)大學(xué)科技園。愛(ài)拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測(cè)量與控制。愛(ài)拓利擁有自己的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，更是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計(jì)及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛(ài)拓利質(zhì)量流量計(jì)及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動(dòng)化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時(shí)，愛(ài)拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛(ài)拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系，并通過(guò)了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)，規(guī)范化管理，愛(ài)拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過(guò)多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)積淀，愛(ài)拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器。支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定。