MFM/MFC的使用方面有什么注意事項

(1)注意閱讀產品說明書及有關資料

(2) 注意輕拿輕放妥善保管

MFM/MFC比較精密，應避免受到撞擊和強烈振動。產品不用時注意放在較好的環境中妥善保管。

(3) 注意系統設計

用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個系統。建議在系統設計時，不要僅僅考慮功能的實現，還要考慮系統的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護性﹑易擴充性等因素。以下給出幾點具體建議：

A. 注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長MFM/MFC的使用壽命。

B. 對于反應系統，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應物倒流損壞 MFC。

C. 對于高壓系統，應在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。

D. 對于硅烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體，應特別注意系統的密閉性（檢漏時不要忽視減壓器），必要時設計吹洗旁路，隨時進行氮氣吹洗或正壓保持。

E. 對于要求比較高的氣路系統, 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對于使用有害氣體的系統，必須嚴格檢漏。氣路柜應有排風系統, 防止對人員和設備的損傷。

F. 有高頻源的系統應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點接地。

G. MFM/MFC的安裝位置應易于裝卸﹑檢測﹑調零，并安全可靠。

H. 對可靠性要求系統，應注意冗余設計。

(4) 注意正確使用操作

對于比較復雜的系統或使用有害氣體的系統，應當制定*的安全操作規程, 防止發生誤操作。

(5) 注意使用氣體與流量計的密封材料相適應

流量計通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數氣體的使用，包括HCL這樣的強腐蝕性氣體。但對于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對于有機溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對于使用三氯化硼、三溴化硼等強腐蝕性介質，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。

 (6) 注意定期標定

質量流量計原則上應當定期標定。