MFM/MFC的使用方面有什么注意事項(xiàng)？

(1)注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料

(2) 注意輕拿輕放妥善保管

MFM/MFC比較精密，應(yīng)避免受到撞擊和強(qiáng)烈振動(dòng)。產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好的環(huán)境中妥善保管。

(3) 注意系統(tǒng)設(shè)計(jì)

用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個(gè)系統(tǒng)。建議在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn)，還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護(hù)性﹑易擴(kuò)充性等因素。以下給出幾點(diǎn)具體建議：

A. 注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長MFM/MFC的使用壽命。

B. 對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞 MFC。

C. 對(duì)于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節(jié)流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。

D. 對(duì)于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性（檢漏時(shí)不要忽視減壓器），必要時(shí)設(shè)計(jì)吹洗旁路，隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕３帧?/p>

E. 對(duì)于要求比較高的氣路系統(tǒng), 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對(duì)于使用有害氣體的系統(tǒng)，必須嚴(yán)格檢漏。氣路柜應(yīng)有排風(fēng)系統(tǒng), 防止對(duì)人員和設(shè)備的損傷。

F. 有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點(diǎn)接地。

G. MFM/MFC的安裝位置應(yīng)易于裝卸﹑檢測(cè)﹑調(diào)零，并安全可靠。

H. 對(duì)可靠性要求的系統(tǒng)，應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)。

(4) 注意正確使用操作

對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用有害氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)制定*的安全操作規(guī)程, 防止發(fā)生誤操作。

(5) 注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)

流量計(jì)通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對(duì)于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對(duì)于有機(jī)溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對(duì)于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計(jì)。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。

 (6) 注意定期標(biāo)定

質(zhì)量流量計(jì)原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。