MFC/MFM的使用注意事項

（1）主要優點

流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準：對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計/質量流量控制器，則一般可以忽略不計。

測量控制的自動化：質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA,數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口,能非常方便地與計算機連接,進行自動控制。

精確地定量控制流量：質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

（2）MFC工作壓差范圍

質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于低值(0.1MPa),有可能控制達不到滿量程值;若高于高值(0.3MPa),有可能關閉時流量不能小于2%FS。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。

（3）MFC在高壓下如何使用

質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小,要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點:一,是要選擇耐壓符合要求的MFC;二,是要挑選工作壓差范圍大的產品型號;三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩定反應室和MFC出口的氣壓,適當調節減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。只要做到以上三點,MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

（4）MFC/MFM如何改氣體和量測

更改MFM/MFC量程需要更換分流器閥口等部件,還要進行量程標定,因此用戶不能自己更改氣體、量程。當然國外進口品牌，也有多量程多氣體型的質量流量控制器，支持用戶現場更改，不過價格非常高昂。

改量程一般應在生產廠或指定維修站進行。如果您覺得量程沒選好，應與供貨商和廠家聯系。

改MFM/MFC量程時,還要注意您的流量顯示儀是否也要調整。如果流量是按百分比方式顯示的，則顯示儀不用改動；如果流量是按SCCM或SLM顯示的，則一般需對流量顯示儀進行調整，以適應新的流量量程。也可以不調整流量顯示儀，只對流量顯示值乘以一個修正系數進行修正:修正系數=新滿量程值/原滿量程值。

改流量顯示儀的問題，請仔細閱讀有關流量顯示儀的說明書, 如果有改量程的說明,可自己按要求更改。若沒有說明,請和廠家聯系。

（5）MFC/MFM使用注意事項

注意閱讀產品說明書及有關資料。

注意輕拿輕放妥善保管。

MFM/MFC比較精密，應避免受到撞擊和強烈振動。產品不用時注意放在較好的環境中妥善保管。

注意系統設計：

用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個系統。建議在系統設計時，不要僅僅考慮功能的實現，還要考慮系統的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護性﹑易擴充性等因素。以下給出幾點具體建議：

A.注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長MFM/MFC的使用壽命。

B.對于反應系統，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應物倒流損壞MFC。

C.對于高壓系統，應在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。

D.對于硅烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體，應特別注意系統的密閉性（檢漏時不要忽視減壓器），必要時設計吹洗旁路，隨時進行氮氣吹洗或正壓保持。

E.對于要求比較高的氣路系統,注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對于使用有害氣體的系統，必須嚴格檢漏。氣路柜應有排風系統,防止對人員和設備的損傷。

F.有高頻源的系統應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點接地。

G.MFM/MFC的安裝位置應易于裝卸﹑檢測﹑調零，并安全可靠。

H.對可靠性要求的系統，應注意冗余設計。

注意正確使用操作：

對于比較復雜的系統或使用有害氣體的系統，應當制定的安全操作規程, 防止發生誤操作。

注意使用氣體與流量計的密封材料相適應：

流量計通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數氣體的使用，包括HCL這樣的強腐蝕性氣體。但對于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對于有機溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對于使用三氯化硼、三溴化硼等強腐蝕性介質，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。

注意定期標定：

質量流量計原則上應當定期標定。