HRMS系列機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選用精密滾珠軸承，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。HRMS系列采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，外觀精致...

YZX130系列氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度側(cè)向安裝直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)軸采用自研S型電機(jī)直驅(qū)，具有響應(yīng)速度快，定位精度高的特點(diǎn)。YZX130采用直驅(qū)非接觸式電機(jī)和編碼器技術(shù)...

位移臺(tái)是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺(tái)，Z軸利用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用雙氣缸配重，可以根據(jù)負(fù)載重量靈活調(diào)整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的性...

ART95LZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，無齒槽直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率...

Surface系列 平面氣浮是地心科技高精度和高動(dòng)態(tài)性能平面氣浮平臺(tái)，它是XY雙氣浮軸承正負(fù)壓設(shè)計(jì)，采用空氣環(huán)繞型預(yù)載，利用空氣負(fù)壓來平衡氣浮導(dǎo)軌往上浮和下壓預(yù)...

RSML系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，選用精密滾珠軸承，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率可達(dá)100Hz以上。...

ONEXY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是納米級(jí)定位精度的XY一體式精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用開放式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)120...

MicroL-Z系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是亞微米級(jí)定位精度的XYZ一體式精密定位平臺(tái)，采用三軸一體式結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶要求分離成大中空的XY軸和單獨(dú)的Z軸。Micro...

地心科技LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺(tái)是納米級(jí)定位精度的氣浮平臺(tái)，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，利用空氣彈性勢(shì)能作為支撐導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻...

ASP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場(chǎng)前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外，ASP氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)還提...

ART130XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)是納米級(jí)定位精度的XY一體式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)10...

ART130SZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...