TOFCO 東富科 半導體酸堿清洗、超純水、腐蝕藥液流量計

• 科賦樂：微小氣體 MFC、浮子流量計更強，側重氮氣 / 氬氣工藝氣、離子風機吹掃氣路；

• 東富科：防腐液體流量計、藥液流量自動控制器優勢極大，半導體酸堿清洗、超純水、腐蝕藥液是強項，氣體產品線性價比更高、交期更快。

二、氣體流量計系列（產線吹掃、工藝氮氣常用）

1. FM 系列 面積式玻璃浮子流量計（走量主力，對標 KOFLOC RK1400）

主流型號

1. FM-PZ / FM-PX20/PX25（通用工業款）

• 介質：空氣、N?、Ar、O?、壓縮空氣

• 量程：0.1~100L/min，耐壓 1MPa，精度 ±2% FS

• 材質：玻璃管 + SUS316 浮子 + FKM 密封，可選上下限流量報警開關

• 應用：SSD 離子棒供氣監測、點膠機吹掃、設備氮氣保護、實驗室簡易氣路

2. FC-CX24/CX30/FC-SM（嵌入式小型款）

• 超薄機身，適合設備機身內置狹小空間安裝

• 微量量程 0.05~20L/min，低成本替代 RK20T

3. DUO-PX 雙管一體式

   雙通道同步監測兩路氣體，涂布機雙路吹掃專用。

2. BY-OM 分流式大流量流量計

• 中大流量管路專用，通過旁路分流測總流量，表頭可分離拆裝，維護方便

• 法蘭連接 DN25~DN100，適合烘箱、大型設備集中供氣大流量監測

3. THP 系列 熱式氣體質量流量控制器 MFC（自動閉環控氣）

核心特點

• 量程：10SCCM~50SLM，精度 ±1% FS

• 信號：0-5V、4-20mA、RS485 Modbus，支持多氣體切換（N?/ 空氣 / Ar）

• 密封規格：標準禁油潔凈型，可選全金屬 VCR 密封適配輕微腐蝕特種氣體

• 適用：等離子清洗、小型鍍膜、涂布機工藝氮氣配比，對標科賦樂 3660、DF300C，價格更有優勢、貨期更短。
  
  

• 1. PFA 全防腐面積式流量計（強酸強堿專用）

• 全流道 PFA 特氟龍材質，無金屬接觸藥液，可視浮子直觀觀察藥液流動

• 介質、鹽酸、顯影液、蝕刻液、各類半導體清洗藥液

• 無金屬污染，適配 8/12 寸晶圓濕清洗設備，是日系設備標配選型

• 2. VK 系列 卡門渦街流量計（純水 / 冷卻水路通用）

• VK-HR 微小口徑、VK-T 通用液體款

• 無活動部件，結構耐用，精度 ±1.0% R，量程比 10:1~25:1

• 材質：SUS316/PFA 可選，輸出脈沖 / 4-20mA，接入 PLC 自動監控

• 應用：設備水冷回路、超純水循環、清洗純水管路監測，對標科賦樂 FM0101

• 3. HF-PEA 葉輪式流量計（高性價比液體計量）

• 流體推動 PFA 葉輪旋轉測流量，結構簡單、價格低，出貨量第一

• 量程 0.1~10m3/h，DN10~DN50，可選流量報警、模擬輸出

• 適用：冷卻水、去離子水、低粘度藥液量產低成本方案

• 4. 超聲波流量計（超純水高精度測量）

• 全 PFA 流路、無阻擋件、壓損極低，適合高潔凈超純水，帶本地流量顯示屏，4-20mA 信號輸出，晶圓純水循環專用

• 四、液體自動流量控制器 FLC 系列（東富科產品）

• 型號：FLC600、FLC700、MH-FLC600

• 結構：流量計 + 電磁比例球閥 + 一體控制器集成，實時檢測流量自動調節閥門，壓力波動下流速恒定；

• 流路無障礙物，不易被藥液雜質堵塞，解決濕制程流量不穩、清洗不均問題；

• 適配：蝕刻、顯影、剝離藥液自動控液，半導體清洗機、面板濕法設備標配，科賦樂無同類型一體化液體控流產品。