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| 供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 綜合 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | 晶圓檢測 |
YAMADA山田光學 半導體實驗設備燈管
半導體晶圓檢查燈是半導體制造過程中的專業照明設備，專門設計用于晶圓生產過程中的缺陷檢測和質量控制環節。隨著半導體工藝節點不斷縮小（從微米級發展到現在的納米級），對晶圓表面缺陷的檢測要求越來越高，專業的檢查照明系統成為確保芯片良率的關鍵因素之一。
現代半導體晶圓檢查燈采用優良的光學技術和精密的光源設計，能夠提供均勻、穩定且特定波長的高質量照明，幫助檢測人員或自動光學檢測(AOI)系統識別晶圓表面的微粒污染、劃痕、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況。這些設備通常集成在潔凈室環境中，滿足半導體制造對潔凈度和穩定性的嚴苛要求。
半導體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力，可提供特定波長的單色光或多色光組合。不同波長的光對各類缺陷的顯現效果不同，例如短波長光（如紫外或深藍光）對微小顆粒和表面拓撲結構更敏感，而長波長光可能更適合檢測某些薄膜缺陷。
檢查燈設計確保照明區域內的光強分布高度均勻，通常均勻性可達90%以上，避免因照明不均導致的檢測誤差。優良的導光技術和光學擴散系統是實現這一特性的關鍵。
設備提供寬范圍的光強調節功能，同時保持出色的光強穩定性（通常波動小于1%），確保長時間檢測過程中的一致性，避免因光強波動導致的誤判。
專業的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項，包括同軸光、環形光、側向光、暗場照明等不同模式，以適應不同類型缺陷的檢測需求。例如，同軸光適合表面污染檢測，而暗場照明對劃痕和拓撲缺陷更敏感。
檢查燈采用無塵設計，材料選擇上避免產生微粒污染，符合ISO 14644-1潔凈室標準。同時具備低發熱特性，減少熱對流對潔凈室氣流的影響。
現代設備配備數字控制系統，支持預設照明方案、自動調節、遠程控制等功能，并能與自動檢測系統無縫集成，實現高效的工作流程。
YAMADA山田光學高亮度鹵素光源設備YP-150I
YAMADA山田光學高亮度鹵素光源設備YP-250I
用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測出來
| 特點】 1. 大于 400,000luxes的照明光線可容易檢測出只有精密探測儀才可測出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia). |
| 2. 使用鹵素燈作為光源，色溫高達3400°K，照光和顏色均一保證了穩定強光的照射。 |
| 3. 由于冷鏡的使用，使得熱影響與常規鋁鏡相比較少1/2 到 1/3 |
| 4. 光束直徑由鏡片調整，30-50mm 之間調整 |
| 5. 底部開光，調整照明勘察器高度，操作簡便，可控制光量。 |
| 高亮度鹵素射鏡 | ||
| YP-150I | YP-250I | |
| 照射范圍 | 30mmφ | 60mmφ |
| 照度 | ≥ 400,000 lｘ | ← |
| 照射距離 | 140mm | 220mm |
| 光源 | 鹵素燈(使用冷鏡) | ← |
| 燈型 | JCR15V150W | ELC24V250W |
| 壽命 | 50小時 | 35 小時 |
| 色溫 | 3,400K° | ← |
| 色調 | 白 | ← |
| 環境溫度 | 0～40℃ | ← |
| 冷卻方式 | 強制排氣 | ← |
| 連接 | 12φ | 20φ |
| 尺寸 | 100(W)×245(H)×116（D）mm | 120(W)×388(H)×130(D)mm |
| 重量 | 1.7 ㎏(17N) | 2.7 ㎏(27N) |
| 輸入電壓 | AC100V 50/60Hz | AC100V 50/60Hz |
| 功率 | 200W | 350W |
| 變化范圍 | AC5～12V | AC10～22V |
| 環境溫度 | 0～40℃ | ← |
| 冷卻方式 | 自然 | 強制排氣 |
| 尺寸 | 140(W)×94(H)×185(D)mm | 135(W)×72(H)×260(D)mm |
| 重量 | 2.4 ㎏ | 2 ㎏ |
| 其他 | 輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq (外加一插座) 輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq (外加一金屬連接器) 腳踏開關線:3m (底部金屬連接器) | 輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq (外加一插座) 輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq (外加一金屬連接器)<span none"=""> |
日本山田光學YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡
日本山田光學YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡
日本山田光學YAMADA高照度鹵素強光燈YP-150I/YP-250I
是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導體晶片及液晶基板加工中費人工的成形製品表面
的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。
概要
1. 可照明様品表面範囲於400.000Lx以上。
2. 因使用鹵素光源燈的光源，具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
3. 冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
4. 二段切換構造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
YP-150I???照度範囲 φ30
YP-250I???照度範囲 φ60
（YP-250I的通風機可選択螺旋式風扇或管道通風機形）
銷售各類日系工業品:tokyokeiso東京計裝（流量計），kofloc科賦樂（流量計），onosokki小野測器（汽車轉速表），yamada山田鹵素（強光燈）,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學（環境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、CEDAR思達
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