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TOKYO KEISO東京計裝流量計半導體P-810

TOKYOKEIS0東京計裝 創立于1954年，是流量計和液位計的專業制造廠家。從基礎產業，重大項目，核電廠到與日常生活密切相關的產業，東京計裝生產經營的流量計和液位計都發揮著重要作用。其應用領域主要包括集成電路，液晶，太陽能電池產業;石油化工，船舶，電力，空調，環保產業;生物，制藥，食品產業以及汽車，發動機的開發測

TOKYOKEISO東京計裝在多年積果的經驗和技術的基礎上，致力于開發具有創新性的新產品，不斷的提供高信賴性，高功能和高質量的儀器儀表，深受廣大用戶的支持。東京計裝擁有世界**的測試技術水平，員工達到600名，產值達到180億日元。其規模及在日本同類企業中。隨著*化的不斷深化，TOKYOKEISO東京計裝致力于開拓海外市場，已經理立起*性的銷售網絡，其產品銷售歐美，以及東南亞名國，并在中國的上海，漳州，中國臺灣的宜蘭以及泰國建立了生產基地。銷售的產品廣泛應用于石油、化工、半導體工程、醫療設備、食品設備等相關行業，并同時具備精鑄、壓鑄、機加工等季部件采購業務。

一、基礎參數

1、測量介質：氣體、液體通用（空氣、氮氣、純水、弱酸弱堿藥液）

流量量程（標準常壓空氣 nor：0℃/1atm；水常溫）

• 氣體（空氣）：最小 0.5～5mL/min，最大 5～50L/min

• 液體（清水）：最小 5～50mL/min，最大 0.4～2L/min

• 量程比：10:1（少數規格 10:2）

2、工況參數

• 精度：±5%FS（目視刻度）

• 耐壓：標配 0.8MPa；PTFE 墊片款上限 0.5MPa

• 介質溫度：NBR 橡膠墊片≤80℃；PTFE 四氟墊片最高 120℃

• 接口螺紋：標準Rc1/4（英制錐牙），可選 NPT1/4、NPT1/8、Rc1/8

3、接液材質

• 測量管：高硼硅玻璃

• 閥體：SUS304（標配）/ 可選 SUS316L

• 浮子：不銹鋼 / 氟塑料；墊片 NBR/EPDM/PTFE 可選（防腐）

二、產品核心特點

1. 面板嵌入式安裝：柜體開孔、螺母前置鎖緊，設備集成專用，體積小巧省空間

2. 無源機械式：無供電、無電路板，抗震動、24h 連續免維護，惡劣工況故障率極低

3. 可選 PAU 磁簧報警開關：加裝上下限磁開關，流量超限輸出開關量信號接 PLC，實現斷氣 / 缺水聯鎖報警

4. 防腐選配：全 PTFE 密封，適配微量腐蝕性工藝流體，半導體濕法、化工吹掃常用

5. 直讀刻度：玻璃管激光刻線，浮球位置直觀讀數，現場不用二次儀表

三、主流應用場景

1. 半導體行業：機臺 N?微量吹掃、CDA 干燥空氣旁路監測、超純水微量補水計量

2. 精細化工 / 環保：分析儀樣氣吹掃、藥劑微量加注、煙氣采樣伴吹

3. 實驗室 / 設備配套：試驗機冷卻水、惰性保護氣小流量管控
   
   

4. 一、核心參數（原廠標準）

5. 1、量程（基準：0℃、1atm 常壓空氣 nor / 常溫清水）

1. 氣體（空氣 / N?/CDA）：5mL/min～60L/min（nor），多檔分段：5~50mL、10~100mL、0.1~1L、1~10L、6~60L/min

2. 液體（純水 / 藥液）：5mL/min～2L/min，最小 5~50mL/min，最大 0.2~2L/min

3. 量程比：標準10:1；＜500mL/min、＞30L/min 規格為 10:2

6. 2、精度分級（P-812/P-813 兩個子型號）

1. P-813：高精度 ±3%FS（半導體高純）

2. P-812：經濟型 ±5%FS（通用化工）

7. 3、工況耐壓 & 溫度

1. 耐壓：最高0.8MPa（8bar）

2. 溫度：FPM 氟橡膠墊片≤120℃；CR 普通橡膠≤80℃

8. 4、接液材質（潔凈防腐可選）

1. 錐管：高硼硅耐熱玻璃

2. 閥體本體：標準 SCS14 不銹鋼，可選 SUS316L、電解拋光 EP 低泄漏款（半導體特氣）

3. 浮子：316 不銹鋼 / PTFE 氟塑料（腐蝕介質）

4. 密封：FPM/CR/PTFE 四氟墊片三選一

9. 5、接口規格

1. 標準螺紋：Rc1/4（英制內錐牙）；可選 Rc1/8、NPT1/4、NPT1/8；高純管路可定制 VCR、卡套接口

2. 安裝：面板嵌入式開孔安裝，前置螺母鎖緊，柜體集成標配

10. 二、產品核心特點（對比 P-100 關鍵升級）

1. 外周全包密封結構：區別 P100 端面密封，漏率遠低于普通浮子表，低泄漏適配高純氮氣、特種工藝氣體，半導體機臺強制選型東京計裝株式會社

2. 可選 EP 電解拋光本體：內壁鏡面拋光、無積塵死角，滿足半導體超凈制程、高純化學品工況

3. 無源機械結構：無電路板、不用供電，24h 連續免維護，抗震動，潔凈車間穩定耐用

4. 選配磁簧限位開關（后綴 E）：上下限流量報警，無源開關量輸出接 PLC，斷氣 / 缺水聯鎖停機

5. 刻度激光刻印：玻璃管精準刻度，現場目視直讀，不用配套二次儀表

11. 三、細分型號規則

12. P-81X-量程代碼-密封材質-接口-E(帶報警)

1. P-812：普通精度 ±5%；P-813：高精度 ±3%

2. 后綴E = 帶上下限報警開關，無 E = 基礎直讀型

13. 四、主流應用場景

1. 半導體：晶圓機臺 N?微量吹掃、CDA 干燥空氣旁路、超純水微量供給、濕法藥液小流量監控（P810 用量＞P100）

2. 精細化工 / 新材料：分析儀樣氣吹掃、微量助劑加注、惰性保護氣監測

3. 鋰電 / 光伏：制程保護氣小流量管控、純水補水計量