Tergeo-Pro桌面等離子清洗機和蝕刻機專為研究、開發和小批量生產而量身定制。Tergeo系列桌面等離子清洗機在表面清洗、活化、有機污染物去除、粘合增強和光刻膠灰化方面表現出色。其精度和多功能性使其成為納米技術、材料科學、微加工和故障分析應用的理想選擇。憑借免維護設計和低擁有成本，Tergeo 系統提供了長期價值。
Tergeo-Pro桌面等離子清洗機未來將腔室直徑增加到 9″(230 mm)。腔室的深度增加到 13.4″(430 mm)。
清洗機足夠大，可以容納 8 英寸晶圓。它也足夠大的一個或兩個 25/50 插槽 6“或 4”石英晶圓船。可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調整。射頻功率的頻率為 13.56MHz，這提供了比 KHz 射頻等離子體系統高得多的等離子體產生效率。不僅可以調節射頻功率瓦數，還可以產生連續或脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%調整到小于 1%。石英腔室壁結構使外部電容耦合射頻電極設計成為可能，從而在整個腔室中產生更均勻的等離子體。
規格和特點：
*Tergeo-Pro桌面等離子清洗機的應用與較小的 Tergeo桌面等離子清洗機相似，不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應用的列表：
光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗
在引線鍵合、倒裝芯片封裝、PCB 封裝之前清潔芯片
生物醫用涂層前的表面處理及提高醫用植入物的親水性
環氧樹脂粘合前的光學、玻璃、光纖頭和基板清潔
PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室
改善金屬對金屬或復合材料的粘合
改善塑料、聚合物和復合材料的粘合
產品特點：
大樣品室(ID：9″/230 mm，深度：13.4″ /340 mm)。足以容納 8 英寸晶圓，一個或兩個 25/50 插槽 6″/4″石英晶圓舟。
等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電與外部彎曲放電電極。
連續和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%(連續)變為小于 1%。Tergeo 等離子體系統不僅可以通過 1 瓦的間隔調整射頻功率，而且可以產生連續和脈沖等離子體。使等離子體強度改變幾個數量級以上。
操作方式：自動配方執行、自動作業順序執行、手動操作。
等離子體傳感器：等離子體強度傳感器實時監測等離子體狀態，并向用戶提供關于不同配方條件下等離子體強度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監測等離子體灰化過程的進展并用作終點指示器。等離子體強度實時顯示在 LCD 觸摸屏上。
先進的過程控制功能：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 氣體流量計、等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。
滅菌室設計：鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強了耐化學性，減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(Ca、K、Na)。
樣品保持器：4mm 厚高純石英板，尺寸：220 mm X 280 mm。
腔體尺寸：內徑：9″/230 mm;外徑：9. 44 ″/240 mm;深度：13. 4 ″/340 mm。
RF 電極：圍繞石英管纏繞的外部電容耦合 RF 電極。外部射頻電極設計能夠實現更大、更均勻的等離子體體積，并且還消除了與內部金屬射頻電極設計相關的離子濺射和加熱問題。
射頻電源：13.56MHz 高頻射頻電源，具有自動阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇：13.56MHz 時的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調整。13.56 與低效率、低成本的 KHz 電源相比，MHz 射頻電源產生的等離子體密度要高得多。
氣體輸入：多達三個 MFC 控制氣體輸入(0~ 100 sccm)。一個額外的端口用于通風和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面：7 英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。
食譜和工作支持：共有 20 個可定制的食譜。作業序列中最多三個清潔步驟。
要求：
交流輸入：110 V ~ 230 V 通用交流電源支持。
泵口：NW/KF 25。
抽真空速度：3.5 cfm 或更高。
真空泵的極限壓力：50 mTorr 或更低。
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