SEN日森 光化學反應器 長治 返回列表頁

SL5UH-4 是日本 SEN 日森原廠 U 型折彎式冷陰極臭氧紫外燈管，屬于 UH 系列標準 5W 規格，同步輸出 185nm+254nm 雙波段真空紫外光，專為中小型 UV 光清洗腔體、微量臭氧生成設備、材料表面活化改性儀器設計。U 型一體化彎折結構，同等功率下發光面積大于直管筆式燈，適配中等尺寸小型元器件批量干式清洗，兼容半導體、光電、電子精密制程與高校實驗室光化學反應設備，是微型 UV 表面處理設備核心標配光源。

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燈管采用高透臭氧型石英玻管，穩定輸出兩組有效短波紫外：185nm 真空紫外電離空氣生成高活性臭氧，254nm 短波紫外提供強氧化分解能力，二者協同作用分解工件表面指紋油脂、光刻膠殘屑、脫模劑、松香、微量有機污染物，實現無溶劑干式原子級潔凈處理。

核心規格：額定功率 5W，標準驅動電流 15mA，U 型一體式結構，發光段長度充足，照射區域照度均勻無明暗斷層；光譜純凈雜光少，臭氧產出速率穩定可控，既能用于大面積小工件批量清洗，也可作為微量臭氧定量制備光源，檢測、實驗數據重復性高。燈管透光石英耐長期臭氧腐蝕，長期使用紫外衰減緩慢，清洗效果全程穩定。

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• 無燈絲超長使用壽命：冷陰極鎳電極結構，無鎢絲熔斷損耗，平均使用壽命可達 10000 小時以上，大幅減少設備停機換燈頻次，降低產線運維耗材成本。

• 低溫低熱輸出，不傷熱敏基材：工作管壁溫升極低，照射硅晶圓、ITO 光學薄膜、塑膠、樹脂、生物試樣不會產生高溫變形、氧化灼傷，設備無需大功率強制散熱，簡化腔體結構。

• 瞬時啟停，適配間歇工序：無需預熱，通電瞬間輸出穩定紫外，支持頻繁開關機，適配實驗室間斷實驗、小批量間歇清洗產線。

• U 型集成大發光面：一體折彎 U 型設計，單支燈管覆蓋照射范圍更大，相比 SP 系列直管筆式燈，同等腔體內部可減少燈管裝配數量，簡化設備布線與安裝固定。

• 低功耗節能運行：5W 低功率設計，長期連續工作用電成本遠低于傳統熱陰極鹵素紫外光源。