日本EBARA荏原多級羅茨干式真空泵

日本EBARA荏原多級羅茨干式真空泵
日本EBARA荏原多級羅茨干式真空泵

主力型號 + 關鍵參數（50 Hz，N?）

? 1）輕氣體型（MO?CVD / 氫氣工藝）

型號	抽速 (L/min)	極限真空 (Pa)	功率 (kW)	重量 (kg)	進氣口
ESA15?D	1,400	400	2.9	～120	NW40
ESA25?D	2,500	5.3	3.0	～150	NW40
ESA70W?D	7,000	0.6	5.2	～220	NW50
ESA70WN?D	7,000	0.4	5.2	～230	NW50

? 2）大流量型（面板 / 光伏 Load Lock / 大腔）

型號	抽速 (L/min)	極限真空 (Pa)	功率 (kW)	重量 (kg)	進氣口
ESA100W	10,000	0.6	7.5	～300	ISO80
ESA200W	20,000	0.6	15	～450	ISO100
ESA300W	30,000	0.53	22	～600	ISO160
ESA500W	50,000	0.6	37	～900	ISO160
ESA700W	70,000	0.6	55	～1,300	ISO200

? 三、核心特點（和 EST / EV?M / 競品差異）

1. 氫氣 / 輕氣體效率***

   專用轉子型線，氫氣抽速比普通干泵高 30%+；MO?CVD（GaN/LED）****標配
2. 大腔體超快粗抽（Load Lock **）

   高壓縮比 + 大抽速，大氣壓 → 1 Pa 僅需 2～3 分鐘；面板 / 光伏大腔 Load Lock 節拍提升 40%+
3. 潔凈無油 + 耐蝕長壽命

   真空側無油；泵腔NiResist 高鎳耐蝕鑄鐵，標配N? 吹掃；可處理微量 Cl?、NH?、HF；維護周期 ≥20,000 小時
4. 智能變頻 + 超低能耗

   內置智能怠速 / 變頻，負載低時自動降速；比定頻節能 30%+；支持遠程監控 / 聯鎖
5. 低噪低振 + 潔凈室友好

   大型號噪音 **≤65 dB**、振動極低；底座帶減震，直接放潔凈室；SEMI S2 / CE / NRTL 認證

?? 四、運用場景 + 行業（*核心）

1）半導體（MO?CVD **主力）

• MO?CVD（GaN / LED / 功率半導體）：*市占 70%+，氫氣 + 金屬有機氣體

• Load Lock / 傳輸腔（300mm 晶圓線）：快速粗抽 + 維持

• LPCVD / PECVD / 刻蝕：前級泵（無粉塵工況）

• MOCVD 專用：ESA25?D / ESA70W?D 是行業標準

2）顯示面板（LCD / OLED / Mini?LED）

• 大尺寸 Load Lock / 傳輸腔：ESA200W / ESA300W 標配

• 濺射（Sputtering）/ 蒸鍍：前級 + 主抽

• 真空干燥 / 脫氣：大腔體快速抽真空

3）光伏（硅片 / 電池片 / 組件）

• 大腔 Load Lock / 擴散爐 / PECVD：ESA100W / ESA200W

• 硅片真空清洗 / 干燥：大流量、低振動

• 組件層壓機：真空源 + 快速抽氣

4）化工 / 新能源（氫氣 / 鋰電）

• 氫氣提純 / 回收：輕氣體專用

• 鋰電 / 鈉電正極真空干燥：無油、低污染

• 精細化工蒸餾 / 脫氣：耐腐蝕、長壽命

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