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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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EBARA 日本荏原 EV-S 系列 多級羅茨干式真空泵（原裝日本進口?輕載節能款）
一、產品概述
EV-S 為無油多級羅茨干式真空泵，荏原主打輕制程、全風冷、超低功耗機型，對標腔體預抽、Load Lock、PVD / 鍍膜、LED、光伏、實驗室潔凈工況；分標準版、P 氮氣吹掃款、N 鎳基耐腐款，滿足潔凈→微量腐蝕氣體工況，全系列標配風冷、無需冷卻水，50/60Hz 電源抽速恒定不受頻率影響，通過 SEMI-S2、CE、NRTL 半導體安全認證。
定位區分：EV-S = 輕載羅茨（風冷省電）；EV-X = 中載螺桿（溫控耐腐）；EV-M = 重載強腐蝕
二、全系列型號 + 核心參數（主流 5 款）
| 機型 | 抽速 (L/min/m3/h) | 極限真空 (Pa) | 額定功率 | 進氣口徑 | 整機重量 | 冷卻 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-S20 | 1670/100 | ≤3.0 | 0.45kW | KF40/DN40 | 62kg | 全風冷 |
| EV-S30 | 3300/198 | ≤2.0 | 0.45kW | DN40 | 88kg | 全風冷 |
| EV-S50 | 5000/300 | ≤0.5 | 0.55kW | DN50 | 142kg | 全風冷 |
| EV-S100 | 10000/600 | ≤0.5 | 2.2kW | DN50 | 175kg | 全風冷 |
| EV-S200 | 20000/1200 | ≤0.5 | 3.7kW | DN65 | 258kg | 風冷 / 可選水冷 |
后綴含義
基礎款（無后綴）：泵腔鍍 Ni-P 化學鎳，潔凈無腐蝕氣體，無需氮氣吹掃，日常氮氣耗量≈0、運行成本低
P 款：內置多路 N?氮氣反吹接口，防止水汽、微量粉塵凝結，適配輕度腐蝕、含水蒸氣工藝
N 款：轉子 / 泵腔鎳基合金基材 + PTFE 特氟龍涂層，P+N 雙配置，弱酸、鹵素微量腐蝕工況專用
三、產品核心優勢
超低能耗（主打賣點）
搭載直流變頻電機，空載休眠 / 怠速降功率，極限真空工況自動降轉速，同抽速比傳統干泵省電 30%~45%；潔凈工藝不用持續通氮氣，大幅降低 N?用氣成本。
小型輕量化 + 全風冷免水冷
整機緊湊占地小，全系標配內置強制風冷，不用外接冷卻水、不用配套冷水機，設備機房布線簡單、基建投入低。
運行穩定低噪
非接觸羅茨轉子結構，無磨損、振動小，運行噪音≤60dB (A)，適合潔凈車間、實驗室環境。
智能電控系統
機身 LCD 可編程控制面板，集成溫度、過載、進氣壓力、振動傳感器，故障預警、運行數據存儲；標配 Modbus-RTU 通訊，可對接產線 PLC 遠程聯控啟停、數據采集。
材質靈活選配
標準鍍鎳、鎳基合金、特氟龍防腐三層方案，從輕潔凈→微腐蝕全工況覆蓋。
四、結構與原理
泵型：多級串聯羅茨轉子、無油干式壓縮，腔體全程無潤滑油，真空無油污染、潔凈度高；轉子間隙精密優化，大氣壓直抽高真空，不用前級泵串聯。
標準材質：轉子球墨鑄鐵 + Ni-P 鍍鎳；N 防腐款：鎳基合金 + 內腔 PFA/PTFE 涂層，耐 HF、HCl 微量酸性氣體。
五、選配配件
氮氣吹掃總成（P/N 機型標配）、氣鎮閥（提升含水蒸氣工況排水能力）
排氣消音器、粉塵捕集罐、冷凝回收罐
變頻調速模塊、遠程控制柜、排氣油霧過濾器
六、應用行業（選型指引）
1、EV-S20/S30（小抽速）
Load Lock 腔體預抽、SEM 電鏡、質譜儀器、小型 PVD 濺射、實驗室鍍膜、半導體設備鎖倉、鋰電小型封裝脫泡。
2、EV-S50/S100（主力爆款）
LED 芯片制程、光伏小片鍍膜、光學薄膜蒸鍍、中小型 PVD、液晶面板真空腔體、晶圓傳送腔預抽。
3、EV-S200（大抽速）
量產線集中預抽系統、中大腔體鍍膜、光伏整線真空、中小型 CVD 潔凈制程。
?選型區分：潔凈無水汽→基礎款；含水汽微量粉塵→P 款；含弱酸 / 鹵素氣體→N 款
七、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
