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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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EBARA 日本荏原 EV-X 系列 干式螺桿真空泵全產品詳情
EV-X 是荏原新一代中負荷緊湊型無油干式真空泵，替代老款 EV-M/EV-S 系列，主打小型化、超節能、一機多用、耐半導體制程腐蝕，專為半導體、光伏、面板鍍膜嚴苛工況開發，符合 SEMI-S2 工業規范，全系列日本原裝。結構形式：多級非接觸式螺桿復合轉子、全干式無油潤滑。
二、全系列主力型號核心參數（50/60Hz 通用）
| 型號 | 標稱抽速 | 極限真空 | 主電機功率 | 冷卻方式 | 進氣法蘭 | 整機重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-X30N | 3000L/min（180m3/h） | ≤0.1Pa | 2.2kW | 全風冷 | DN40 | 72kg |
| EV-X100N | 10000L/min（600m3/h） | ≤0.1~0.5Pa | 4.0kW | 全風冷 | DN50 | 128kg |
| EV-X200N | 20000L/min（1200m3/h） | ≤0.2~0.5Pa | 7.5kW | 風冷 / 水冷可選 | DN65 | 215kg |
| EV-X300N | 30000L/min（1800m3/h） | ≤0.5Pa | 11kW | 標配水冷 | DN80 | 320kg |
備注：N = 標準耐腐蝕標配機型，另有 CR 耐強酸氟化氣體定制款
三、五大核心產品優勢
極小型化，占地縮減 30%~38%
同抽速體積遠小于 EV-S/EV-M，Subfab 機房密集排布優勢明顯，機臺內嵌安裝友好。
IE5 高效電機，節能 25%~50%
空載低真空自動降功率運行，極限真空待機功耗僅 0.9~1.5kW，大幅降低工廠電費；50/60Hz 自適應變頻，出口 / 國內通用電壓 3φ200~220V。
全機溫控防凝設計，適配中重腐蝕制程
泵體分段恒溫伴熱，抑制 SiO?、有機副產物凝結結塊；標準泵腔 316L 不銹鋼，可選鎳基防腐內襯（HF、Cl?、F 系蝕刻氣體專用）。
模塊化集成、易維護
整機零件精簡，常規保養僅更換進氣濾芯、排氣濾芯，保養周期≥8000h，備品通用性強、維保成本低。
智能電控系統
自帶一體式控制面板：溫度、電流、過載、缺水、堵轉故障報警，標配無源觸點，可直連設備 PLC 遠程啟停聯鎖。
四、版本選配區分
標準版 EV-X□□N（常規）：全風冷、316L 泵體，適配 PVD 濺射、Loadlock 預抽、灰化、普通 CVD
CR 耐腐蝕定制版：內壁耐氟 / 氯強酸涂層，用于干法蝕刻、HDP-CVD、離子注入尾氣
HT 高溫款：全泵體加強伴熱，高粉塵、高溶劑冷凝工況專用
水冷款（X200/X300 選配）：大功率連續滿載、高溫環境使用，散熱更穩定
五、主流應用行業
1. 半導體晶圓（主力場景）
干法蝕刻、PECVD/HDP-CVD、濺射 PVD、離子注入、灰化除膠、Loadlock 腔體預抽、檢測設備 SEM/XPS 前級真空
2. 光伏 & LED
電池片 PECVD 鍍膜、干法邊緣蝕刻、MiniLED 濺射腔體抽氣
3.FPD 面板
OLED/LCD 蒸鍍、小型腔體預抽真空
4. 通用工業
真空鍍膜、凍干、脫泡、實驗室科研真空設備
六、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
